Stavební prostor | ø,h: 350 x 380 mm |
Výkon svazku | 3 000 W |
Typ katody | krystal |
Min. průměr ohniska svazku | 140 μm |
Max. rychlost pohybu elektronového svazku | 8 000 m/s |
Aktivní chlazení | vodní chladič |
Tlak vakua v komoře před startem | 5 x 10-4 mbar |
Stavební atmosféra (parciální tlak He) | 4 x 10-3 mbar |
Spotřeba helia - v procesu | 4 l/h |
Spotřeba helia - chladnutí | 100 - 150 l/stavbu |
Připojení a příkon | 3 x 400 V, 32 A, 7 kW |
Rozměry stroje (Š x H x V) | 2400 x 1300 x 2945 mm |
Hmotnost stroje | 2900 kg |