Stavební prostor | ø,h: 350 x 430 mm |
Výkon svazku | 4 500 W |
Typ katody | kryslal |
Min. průměr ohniska svazku | μm |
Max. rychlost pohybu elektronového svazku | m/s |
Aktivní chlazení | |
Tlak vakua v komoře před startem | 5 x 10-4 mbar |
Stavební atmosféra (parciální tlak He) | 4 x 10-3 mbar |
Spotřeba helia - v procesu | l/h |
Spotřeba helia - chladnutí | l/stavbu |
Připojení a příkon | 3 x 400 V, 32 A, 13 kVA kW |
Rozměry stroje (Š x H x V) | mm |
Hmotnost stroje | kg |